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超純水(UPW)または脱イオン水(DI)を扱う場合、精度が最優先事項です。これらの用途では、シングルチャネルのアナログ導電率センサーは、通常0.05~20μS/cmの非常に低い測定範囲を提供する必要があります。これらの環境では、わずかなイオン汚染でさえ、半導体や医薬品の繊細な製造プロセスを妨げる可能性があります。最高の純度基準を維持するために、センサーはこれらの測定値を抵抗率(MΩ・cmで測定)に変換することが多く、これは蒸留およびイオン交換システムにおける水質に関する標準的な指標です。
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ハウジング材料の選択も、純水にとって同様に重要です。蒸留水または医薬品グレードの流体には、316Lステンレス鋼またはチタン合金センサーが推奨されます。これらの材料は非反応性であり、食品グレードおよび医療グレードの基準を満たすように製造できるため、センサーから水へのイオンの溶出を防ぎます。さらに、超純水は多くの場合、滅菌ループの一部であるため、120℃または135℃までの温度に耐えることができるセンサーが、Clean-in-Place(CIP)またはSteam-in-Place(SIP)滅菌サイクルに必要です。導電率、抵抗率、TDSを表示するコントローラーを統合することにより、オペレーターは水純度の多次元的なビューを得ることができ、脱イオン樹脂床が正しく機能し、最終製品が業界の厳しい要件を満たしていることを確認できます。
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